近日,廣東華特氣體股份有限公司(以下簡稱“公司”)憑借卓越的產(chǎn)品性能及穩(wěn)定的供應(yīng)能力,被中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體IDM企業(yè)——杭州士蘭微電子股份有限公司(以下簡稱“士蘭微”)旗下的士蘭半導(dǎo)體制造事業(yè)總部正式授予“材料戰(zhàn)略合作供應(yīng)商”榮譽(yù)稱號。此項授牌不僅標(biāo)志著公司在高端半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的研發(fā)實力與穩(wěn)定供應(yīng)能力獲得產(chǎn)業(yè)鏈核心企業(yè)的高度認(rèn)可,也是彰顯在推動特種氣體國產(chǎn)化進(jìn)程中的關(guān)鍵作用。
公司始終專注于特種氣體的技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。截至2025半年度,公司擁有259 項專利,主持或參與制定包括多項電子工業(yè)用氣體國家標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的67項標(biāo)準(zhǔn)、6項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、1項國際標(biāo)準(zhǔn)和11項團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn),技術(shù)積累覆蓋半導(dǎo)體制造14nm、7nm先進(jìn)制程工藝需求,部分氟碳類產(chǎn)品、氫化物已進(jìn)入到5nm的先進(jìn)制程工藝并不斷擴(kuò)大覆蓋范圍。
同時,公司自主研發(fā)的高純四氟化碳、六氟乙烷、光刻氣等核心產(chǎn)品成功實現(xiàn)進(jìn)口替代;自主研發(fā)的光刻混合氣有Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等,是國內(nèi)唯一一家同時通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會社雙重認(rèn)證的氣體企業(yè),技術(shù)壁壘與國際化認(rèn)證能力穩(wěn)居行業(yè)前列。
在客戶覆蓋度方面,目前公司已成功實現(xiàn)了對國內(nèi)8寸及以上集成電路制造廠商超過90%的客戶覆蓋率,客戶認(rèn)同度持續(xù)提升。士蘭微作為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要力量,此次榮獲其旗下士蘭半導(dǎo)體制造事業(yè)總部的合作授牌,既是對公司技術(shù)可靠性與供應(yīng)鏈穩(wěn)定性的權(quán)威背書,亦為雙方深化晶圓制造材料協(xié)同創(chuàng)新奠定基礎(chǔ)。
另外,公司還承擔(dān)國家重大科技專項(02專項)中的《高純?nèi)淄榈难邪l(fā)與中試》課題等重點(diǎn)科研項目及廣東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)區(qū)域集聚發(fā)展試點(diǎn)(新一代顯示技術(shù))項目中的“平板顯示器用特種氣體”研發(fā),連續(xù)四屆入選“中國電子化工材料專業(yè)十強(qiáng)”,并斬獲“全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化先進(jìn)單位”、“IC創(chuàng)新獎”等獎項榮譽(yù)。此次授牌進(jìn)一步印證了公司在高端供應(yīng)鏈的突破能力,為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供范本。
在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭加劇的背景下,公司未來將持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā),發(fā)揮產(chǎn)能協(xié)同效應(yīng),攜手士蘭半導(dǎo)體制造事業(yè)總部等產(chǎn)業(yè)鏈伙伴,共同構(gòu)建安全、高效、創(chuàng)新的特種材料供應(yīng)體系,助推中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。